طراحي و ساخت دستگاه پوشش دهي شيميايي در حالت بخار با فيلامان گرم و کاربرد آن در رشد نانو ساختارها
شرح پدیدآور :
محمود سيدقرآن نويس، مجيد مجتهدزاده لاريجاني، مجيد عشق آبادي، علي شكوهي، پروين علي زاده، سعيد نصيري
وضعیت نشر الکترونیکی :
قم : موسسه فرهنگي و اطلاع رساني تبيان
، 1387