خصوصيات ساختاري و اپتيکي فيلم نيتريد سيليکون توليد شده بر روي سيليکون توسط فرآيند کاشت يون با انرژي کم

شرح پدیدآور :

داوود درانيان، پروانه آزادفر، اميرحسين ساري

زبان :

فارسی

نوع منبع :

مقاله

موضوعات :

اشعه ايکس-يون-پايداري

منابع دیجیتالی :

نسخه pdf

پدیدآورندگان :

درانيان، داوود(سرشناسه)
ساري، اميرحسين، 1353 -(نویسنده همکار)
آزادفر، پروانه(نویسنده همکار)

وضعیت نشر الکترونیکی :

قم : موسسه فرهنگي و اطلاع رساني تبيان ، 1387